多层式金刚石薄膜的制备工艺研究
다층식금강석박막적제비공예연구
Study of multi-layer diamond films for high frequency surface acoustic wave devices
  • 万方数据
    功能材料与器件学报 공능재료여기건학보
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
    2006年 2期 91-94 ,共4页

    阮建锋%夏义本%王林军%刘健敏%蒋丽雯%崔江涛%苏青峰%史伟民

    원건봉%하의본%왕림군%류건민%장려문%최강도%소청봉%사위민

    纳米金刚石%HFCVD%表面粗糙度%声表面波 納米金剛石%HFCVD%錶麵粗糙度%聲錶麵波
    납미금강석%HFCVD%표면조조도%성표면파
    利用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,通过逐次调整气压、碳源浓度等生长参数,沉积了晶粒尺寸逐层减小的多层式金刚石薄膜.场发射扫描电镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM)测试显示其表层晶粒平均尺寸约为20nm,厚度和表面平均粗糙度分别为35.81μm和18.8nm(2μm×2μm),皆能满足高频声表面波器件用衬底的要求.实验结果表明,多层式生长方法是制备声表面波器件用金刚石衬底的理想方法.
    이용열사화학기상침적(HFCVD)기술,통과축차조정기압、탄원농도등생장삼수,침적료정립척촌축층감소적다층식금강석박막.장발사소묘전경(FE-SEM)화원자력현미경(AFM)측시현시기표층정립평균척촌약위20nm,후도화표면평균조조도분별위35.81μm화18.8nm(2μm×2μm),개능만족고빈성표면파기건용츤저적요구.실험결과표명,다층식생장방법시제비성표면파기건용금강석츤저적이상방법.
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