仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2005年
z2期
320-323
,共4页
微电子机械系统%纳米接触%Hamaker假设%弹性理论
微電子機械繫統%納米接觸%Hamaker假設%彈性理論
미전자궤계계통%납미접촉%Hamaker가설%탄성이론
针对微电子机械系统中的"微碰撞"、"微接触"、"纳米摩擦"等现象,根据Hamaker3个假设和经典弹性理论,采用连续介质力学方法,建立了球-球、球-面接触的弹性物理模型;给出了粘着力引起的球-球、球-面间接触半径的计算方法;指出在分析计算与微观接触有关的问题时必须考虑粘着力.从而为纳米接触、纳米摩擦的进一步研究提供理论基础.
針對微電子機械繫統中的"微踫撞"、"微接觸"、"納米摩抆"等現象,根據Hamaker3箇假設和經典彈性理論,採用連續介質力學方法,建立瞭毬-毬、毬-麵接觸的彈性物理模型;給齣瞭粘著力引起的毬-毬、毬-麵間接觸半徑的計算方法;指齣在分析計算與微觀接觸有關的問題時必鬚攷慮粘著力.從而為納米接觸、納米摩抆的進一步研究提供理論基礎.
침대미전자궤계계통중적"미팽당"、"미접촉"、"납미마찰"등현상,근거Hamaker3개가설화경전탄성이론,채용련속개질역학방법,건립료구-구、구-면접촉적탄성물리모형;급출료점착력인기적구-구、구-면간접촉반경적계산방법;지출재분석계산여미관접촉유관적문제시필수고필점착력.종이위납미접촉、납미마찰적진일보연구제공이론기출.
