退火对sol-gel法生长的SiO2薄膜特性的影响
퇴화대sol-gel법생장적SiO2박막특성적영향
The influence of anneal on the properties of SiO2 thin films prepared by sol-gel method
  • 万方数据
    功能材料 공능재료
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
    2004年 z1期 3171-3174 ,共4页

    郭嘉%龚明%许小亮%张慰萍%郭海%王燎原%陈滢滢%刘佩尧%刘洪图

    곽가%공명%허소량%장위평%곽해%왕료원%진형형%류패요%류홍도

    退火%sol-gel%SiO2薄膜%膜厚%折射率 退火%sol-gel%SiO2薄膜%膜厚%摺射率
    퇴화%sol-gel%SiO2박막%막후%절사솔
    用正硅酸乙酯(ETOS),乙醇(EtOH),水以及盐酸以一定的比例混合配制溶胶(其中盐酸为催化剂).以普通浮法玻璃为衬底,用浸渍提拉法制备了厚度为100nm左右的SiO2薄膜.对其进行等温和等时退火,用台阶仪测定其厚度变化,给出经验拟合公式.研究了退火对透过率、折射率以及气孔率的影响,并做出比较详细的理论解释.
    용정규산을지(ETOS),을순(EtOH),수이급염산이일정적비례혼합배제용효(기중염산위최화제).이보통부법파리위츤저,용침지제랍법제비료후도위100nm좌우적SiO2박막.대기진행등온화등시퇴화,용태계의측정기후도변화,급출경험의합공식.연구료퇴화대투과솔、절사솔이급기공솔적영향,병주출비교상세적이론해석.
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