仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2003年
z2期
309-310
,共2页
张宁欣%侯生根%任天令%刘理天
張寧訢%侯生根%任天令%劉理天
장저흔%후생근%임천령%류리천
退火制度PZT%溶胶凝胶%漏导电流
退火製度PZT%溶膠凝膠%漏導電流
퇴화제도PZT%용효응효%루도전류
铁电薄膜的性质对于硅基MEMS器件有重要的影响,鉴于此本文尝试通过改善退火工艺以提高PZT薄膜的铁电和压电性质.采用溶胶凝胶法,在Si/SiO2/Ti/Pt衬底上制备了PZT铁电薄膜.实验中,采用一次退火工艺和每层退火工艺制备了两种PZT薄膜,采用XRD对薄膜的晶体结构进行分析,通过C-V和I-V特性的研究发现,每层退火工艺有助于提高PZT薄膜的C-V性质,并降低漏导电流.
鐵電薄膜的性質對于硅基MEMS器件有重要的影響,鑒于此本文嘗試通過改善退火工藝以提高PZT薄膜的鐵電和壓電性質.採用溶膠凝膠法,在Si/SiO2/Ti/Pt襯底上製備瞭PZT鐵電薄膜.實驗中,採用一次退火工藝和每層退火工藝製備瞭兩種PZT薄膜,採用XRD對薄膜的晶體結構進行分析,通過C-V和I-V特性的研究髮現,每層退火工藝有助于提高PZT薄膜的C-V性質,併降低漏導電流.
철전박막적성질대우규기MEMS기건유중요적영향,감우차본문상시통과개선퇴화공예이제고PZT박막적철전화압전성질.채용용효응효법,재Si/SiO2/Ti/Pt츤저상제비료PZT철전박막.실험중,채용일차퇴화공예화매층퇴화공예제비료량충PZT박막,채용XRD대박막적정체결구진행분석,통과C-V화I-V특성적연구발현,매층퇴화공예유조우제고PZT박막적C-V성질,병강저루도전류.
