机械强度
機械彊度
궤계강도
JOURNAL OF MECHANICAL STRENGTH
2001年
4期
543-547
,共5页
陈德勇%崔大付%于中尧%王利
陳德勇%崔大付%于中堯%王利
진덕용%최대부%우중요%왕리
微电子机械加工技术%氮化硅梁%谐振式压力传感器
微電子機械加工技術%氮化硅樑%諧振式壓力傳感器
미전자궤계가공기술%담화규량%해진식압력전감기
报导一种新型的电热激励、压阻拾振的氮化硅梁谐振式压力传感器.器件采用微电子机械加工技术和键合技术研制.谐振频率85 kHz,空气中品质因素Q值接近1 000,在真空中达到40 000.采用闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性,压力测试范围0～400 kPa,灵敏度23.8 Hz/kPa.
報導一種新型的電熱激勵、壓阻拾振的氮化硅樑諧振式壓力傳感器.器件採用微電子機械加工技術和鍵閤技術研製.諧振頻率85 kHz,空氣中品質因素Q值接近1 000,在真空中達到40 000.採用閉環自激振盪方式測定壓力傳感器的壓力特性,壓力測試範圍0～400 kPa,靈敏度23.8 Hz/kPa.
보도일충신형적전열격려、압조습진적담화규량해진식압력전감기.기건채용미전자궤계가공기술화건합기술연제.해진빈솔85 kHz,공기중품질인소Q치접근1 000,재진공중체도40 000.채용폐배자격진탕방식측정압력전감기적압력특성,압력측시범위0～400 kPa,령민도23.8 Hz/kPa.
