固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2001年
3期
330-333
,共4页
统计过程控制%回归控制图%工艺模型
統計過程控製%迴歸控製圖%工藝模型
통계과정공제%회귀공제도%공예모형
针对微电路生产中工艺条件的变化情况,首先采用最小二乘法建立回归方程,构成表征工艺参数变化规律的工艺模型,然后在此基础上建立了回归控制图,对工序的统计受控状态进行定量分析.
針對微電路生產中工藝條件的變化情況,首先採用最小二乘法建立迴歸方程,構成錶徵工藝參數變化規律的工藝模型,然後在此基礎上建立瞭迴歸控製圖,對工序的統計受控狀態進行定量分析.
침대미전로생산중공예조건적변화정황,수선채용최소이승법건립회귀방정,구성표정공예삼수변화규률적공예모형,연후재차기출상건립료회귀공제도,대공서적통계수공상태진행정량분석.
