传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2001年
4期
27-30
,共4页
徐军%李欣%林冬辉%李瑞杰%林江
徐軍%李訢%林鼕輝%李瑞傑%林江
서군%리흔%림동휘%리서걸%림강
膜厚传感器%B模式%厚度切变振动%修 正SC切型%同线场电极
膜厚傳感器%B模式%厚度切變振動%脩 正SC切型%同線場電極
막후전감기%B모식%후도절변진동%수 정SC절형%동선장전겁
介绍一种利用B模式厚度切变体波工作的新型水晶谐振式膜厚传 感器。它采用修正式SC切型，以同线场电极激励。它可以在10～280 ℃范围内工作，其测 量范围为0.1～80 nm，准确度为0.02 nm。
介紹一種利用B模式厚度切變體波工作的新型水晶諧振式膜厚傳 感器。它採用脩正式SC切型，以同線場電極激勵。它可以在10～280 ℃範圍內工作，其測 量範圍為0.1～80 nm，準確度為0.02 nm。
개소일충이용B모식후도절변체파공작적신형수정해진식막후전 감기。타채용수정식SC절형，이동선장전겁격려。타가이재10～280 ℃범위내공작，기측 량범위위0.1～80 nm，준학도위0.02 nm。
A new type of thin-film thickness sensor of a modified SC-cut quartz c rystal bulk resonator vibrating in the B mode of thickness shear with the in-lin e field electrodes is described. It is useable from10 ℃ to 280 ℃,its accurac ies is 0.02 nm for use from 0.1 nm to 80 nm.
