物理学报
物理學報
물이학보
2000年
8期
1614-1619
,共6页
李志锋%陆卫%叶红娟%袁先璋%沈学础%G.Li S.J.Chua
李誌鋒%陸衛%葉紅娟%袁先璋%瀋學礎%G.Li S.J.Chua
리지봉%륙위%협홍연%원선장%침학출%G.Li S.J.Chua
α-GaN外延薄膜%红外反射光谱%载流子浓度%迁移率%LO声子与等离子体激元耦合模%Raman光谱
α-GaN外延薄膜%紅外反射光譜%載流子濃度%遷移率%LO聲子與等離子體激元耦閤模%Raman光譜
α-GaN외연박막%홍외반사광보%재류자농도%천이솔%LO성자여등리자체격원우합모%Raman광보
用红外反射光谱的方法对生长在蓝宝石衬底上的α-GaN外延薄膜的载流子浓度和迁移率进行了研究.通过测量蓝宝石衬底和不同Si掺杂浓度的一系列GaN外延膜的远红外反射谱并进行理论计算和拟合,得到GaN中的声子振动参量和等离子振荡的频率及阻尼常量,并由此计算得到其载流子浓度和迁移率.计算结果,红外方法得到的载流子浓度与Hall测量相一致,但迁移率比Hall迁移率要低约二分之一.同时红外谱与喇曼谱上明显观察到L声子与等离子体激元耦合模,(LPP)随掺杂浓度的变化.
用紅外反射光譜的方法對生長在藍寶石襯底上的α-GaN外延薄膜的載流子濃度和遷移率進行瞭研究.通過測量藍寶石襯底和不同Si摻雜濃度的一繫列GaN外延膜的遠紅外反射譜併進行理論計算和擬閤,得到GaN中的聲子振動參量和等離子振盪的頻率及阻尼常量,併由此計算得到其載流子濃度和遷移率.計算結果,紅外方法得到的載流子濃度與Hall測量相一緻,但遷移率比Hall遷移率要低約二分之一.同時紅外譜與喇曼譜上明顯觀察到L聲子與等離子體激元耦閤模,(LPP)隨摻雜濃度的變化.
용홍외반사광보적방법대생장재람보석츤저상적α-GaN외연박막적재류자농도화천이솔진행료연구.통과측량람보석츤저화불동Si참잡농도적일계렬GaN외연막적원홍외반사보병진행이론계산화의합,득도GaN중적성자진동삼량화등리자진탕적빈솔급조니상량,병유차계산득도기재류자농도화천이솔.계산결과,홍외방법득도적재류자농도여Hall측량상일치,단천이솔비Hall천이솔요저약이분지일.동시홍외보여나만보상명현관찰도L성자여등리자체격원우합모,(LPP)수참잡농도적변화.
