应用化工
應用化工
응용화공
APPLIED CHEMICAL INDUSTRY
2000年
4期
32-34
,共3页
无机氢化物%反应尾气%气相色谱分析%金属有机物化学气相沉积(MOCVD)
無機氫化物%反應尾氣%氣相色譜分析%金屬有機物化學氣相沉積(MOCVD)
무궤경화물%반응미기%기상색보분석%금속유궤물화학기상침적(MOCVD)
为配合Ⅲ-Ⅴ族半导体研制和评定金属有机物化学气相沉积(简称MOCVD)装置的尾气处理效果,及其对安全的影响,研究了用气相色谱对所用的高纯氢化物的杂质、检测灵敏度及相对保留值;混合氢化物的组分;反应尾气中有害物在处理前后的含量变化等进行了测定.组分分离较好,相对标准误差小于2.3%.环保质量符合国家规定.
為配閤Ⅲ-Ⅴ族半導體研製和評定金屬有機物化學氣相沉積(簡稱MOCVD)裝置的尾氣處理效果,及其對安全的影響,研究瞭用氣相色譜對所用的高純氫化物的雜質、檢測靈敏度及相對保留值;混閤氫化物的組分;反應尾氣中有害物在處理前後的含量變化等進行瞭測定.組分分離較好,相對標準誤差小于2.3%.環保質量符閤國傢規定.
위배합Ⅲ-Ⅴ족반도체연제화평정금속유궤물화학기상침적(간칭MOCVD)장치적미기처리효과,급기대안전적영향,연구료용기상색보대소용적고순경화물적잡질、검측령민도급상대보류치;혼합경화물적조분;반응미기중유해물재처리전후적함량변화등진행료측정.조분분리교호,상대표준오차소우2.3%.배보질량부합국가규정.
