溶胶-凝胶法制备掺铌的SrTiO3薄膜
용효-응효법제비참니적SrTiO3박막
Preparation of Nb-doped SrTiO3 thin film by the sol-gel process.
  • 万方数据
    电子元件与材料 전자원건여재료
    ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
    2000年 1期 5-6 ,共2页

    赵苏串%魏敏敏

    조소천%위민민

    溶胶-凝胶法%钛酸锶薄膜%介质薄膜 溶膠-凝膠法%鈦痠鍶薄膜%介質薄膜
    용효-응효법%태산송박막%개질박막
    采用溶胶-凝胶法,用醋酸锶、钛酸丁酯、乙醇铌作为前驱体,用旋涂法制备掺铌钛酸锶多晶薄膜.用醋酸作为醋酸锶溶剂,并用丙三醇作为辅助溶剂,溶胶浓度及黏度均可在较大范围内调节.经600℃热处理后薄膜转化为钙钛矿结构,扫描俄歇电子显微镜所做表面形貌与元素分析表明薄膜均匀、无裂纹、表面光滑、晶粒细小.
    채용용효-응효법,용작산송、태산정지、을순니작위전구체,용선도법제비참니태산송다정박막.용작산작위작산송용제,병용병삼순작위보조용제,용효농도급점도균가재교대범위내조절.경600℃열처리후박막전화위개태광결구,소묘아헐전자현미경소주표면형모여원소분석표명박막균균、무렬문、표면광활、정립세소.
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