湘潭大学自然科学学报
湘潭大學自然科學學報
상담대학자연과학학보
NATURAL SCIENCE JOURNAL OF XIANGTAN UNIVERSITY
2003年
2期
30-33
,共4页
欧阳钢%郭建%颜晓红%丁书龙
歐暘鋼%郭建%顏曉紅%丁書龍
구양강%곽건%안효홍%정서룡
脉冲激光沉积%纳米晶金刚石薄膜%生长机理
脈遲激光沉積%納米晶金剛石薄膜%生長機理
맥충격광침적%납미정금강석박막%생장궤리
用固体脉冲激光(Nd∶YAG)烧蚀石墨靶在镜面αAl2O3(0001)上沉积纳米金刚石薄膜.用Raman谱、XRD衍射谱和SEM分别对薄膜的成键情况和表面形貌进行了分析.结果表明:显微Raman谱出现三个峰包:1 150 cm-1、1 350 cm-1、1 580 cm-1,分别对应着纳米金刚石特征峰、石墨的D峰和G峰;XRD衍射谱在41.42°出现金刚石的(100)衍射峰.实验结果表明,影响薄膜生长的关键参数主要是氧气压的大小和衬底的温度.在氧气压为6 Pa和衬底温度为550 ℃时,制备的薄膜质量较好.对用PLD法在氧气氛围下生长的金刚石薄膜的生长机理进行了分析.
用固體脈遲激光(Nd∶YAG)燒蝕石墨靶在鏡麵αAl2O3(0001)上沉積納米金剛石薄膜.用Raman譜、XRD衍射譜和SEM分彆對薄膜的成鍵情況和錶麵形貌進行瞭分析.結果錶明:顯微Raman譜齣現三箇峰包:1 150 cm-1、1 350 cm-1、1 580 cm-1,分彆對應著納米金剛石特徵峰、石墨的D峰和G峰;XRD衍射譜在41.42°齣現金剛石的(100)衍射峰.實驗結果錶明,影響薄膜生長的關鍵參數主要是氧氣壓的大小和襯底的溫度.在氧氣壓為6 Pa和襯底溫度為550 ℃時,製備的薄膜質量較好.對用PLD法在氧氣氛圍下生長的金剛石薄膜的生長機理進行瞭分析.
용고체맥충격광(Nd∶YAG)소식석묵파재경면αAl2O3(0001)상침적납미금강석박막.용Raman보、XRD연사보화SEM분별대박막적성건정황화표면형모진행료분석.결과표명:현미Raman보출현삼개봉포:1 150 cm-1、1 350 cm-1、1 580 cm-1,분별대응착납미금강석특정봉、석묵적D봉화G봉;XRD연사보재41.42°출현금강석적(100)연사봉.실험결과표명,영향박막생장적관건삼수주요시양기압적대소화츤저적온도.재양기압위6 Pa화츤저온도위550 ℃시,제비적박막질량교호.대용PLD법재양기분위하생장적금강석박막적생장궤리진행료분석.
