华中科技大学学报(自然科学版)
華中科技大學學報(自然科學版)
화중과기대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2001年
9期
99-102
,共4页
sol-gel工艺%气敏薄膜%气敏及电学性能
sol-gel工藝%氣敏薄膜%氣敏及電學性能
sol-gel공예%기민박막%기민급전학성능
以无机盐SnCl4@5H2O,SbCl5,NiCl2@6H2O为原料,采用溶胶-凝胶工艺制备了Sb2O3和NiO掺杂的SnO2薄膜.研究了SnO2:Sb:Ni薄膜的电学和气敏性能.实验研究表明,由于锑的掺杂,所制得的SnO2:Sb:Ni薄膜电阻较低,室温下其电阻只有120 kΩ/.而NiO作为催化剂,使其对NOx气体具有较高的灵敏度和良好的选择性.与SnO2:Sb薄膜相比,其工作温度大大降低,在常温下对NOr气体(主要成分是NO)也具有一定的灵敏度;并且水汽不影响其对NOx气体的灵敏度.SnO2:Sb:Ni薄膜工作温度的降低主要是薄膜表面缺陷和颈连粒子的存在所致.
以無機鹽SnCl4@5H2O,SbCl5,NiCl2@6H2O為原料,採用溶膠-凝膠工藝製備瞭Sb2O3和NiO摻雜的SnO2薄膜.研究瞭SnO2:Sb:Ni薄膜的電學和氣敏性能.實驗研究錶明,由于銻的摻雜,所製得的SnO2:Sb:Ni薄膜電阻較低,室溫下其電阻隻有120 kΩ/.而NiO作為催化劑,使其對NOx氣體具有較高的靈敏度和良好的選擇性.與SnO2:Sb薄膜相比,其工作溫度大大降低,在常溫下對NOr氣體(主要成分是NO)也具有一定的靈敏度;併且水汽不影響其對NOx氣體的靈敏度.SnO2:Sb:Ni薄膜工作溫度的降低主要是薄膜錶麵缺陷和頸連粒子的存在所緻.
이무궤염SnCl4@5H2O,SbCl5,NiCl2@6H2O위원료,채용용효-응효공예제비료Sb2O3화NiO참잡적SnO2박막.연구료SnO2:Sb:Ni박막적전학화기민성능.실험연구표명,유우제적참잡,소제득적SnO2:Sb:Ni박막전조교저,실온하기전조지유120 kΩ/.이NiO작위최화제,사기대NOx기체구유교고적령민도화량호적선택성.여SnO2:Sb박막상비,기공작온도대대강저,재상온하대NOr기체(주요성분시NO)야구유일정적령민도;병차수기불영향기대NOx기체적령민도.SnO2:Sb:Ni박막공작온도적강저주요시박막표면결함화경련입자적존재소치.
