材料工程
材料工程
재료공정
JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
2001年
7期
36-39
,共4页
朱永法%殷木省%王莉%姚文清%嵇世山%曹立礼
硃永法%慇木省%王莉%姚文清%嵇世山%曹立禮
주영법%은목성%왕리%요문청%혜세산%조립례
界面扩散%ZrN2%俄歇电子能谱%线形分析
界麵擴散%ZrN2%俄歇電子能譜%線形分析
계면확산%ZrN2%아헐전자능보%선형분석
利用直流磁控反应溅射法在Al基底上制备了ZrN2及Ti多层薄膜。利用扫描俄歇微探针的深度剖析和线形分析技术研究了真空热处理对Ti/ZrN2/Al样品膜层之间的界面化学状态和相互作用的影响。研究结果表明，真空热处理使Ti/ZrN2/Al薄膜界面上发生了明显的界面扩散和化学反应，生成了TiNx物种，并且薄膜内层发生了严重的氧化反应。
利用直流磁控反應濺射法在Al基底上製備瞭ZrN2及Ti多層薄膜。利用掃描俄歇微探針的深度剖析和線形分析技術研究瞭真空熱處理對Ti/ZrN2/Al樣品膜層之間的界麵化學狀態和相互作用的影響。研究結果錶明，真空熱處理使Ti/ZrN2/Al薄膜界麵上髮生瞭明顯的界麵擴散和化學反應，生成瞭TiNx物種，併且薄膜內層髮生瞭嚴重的氧化反應。
이용직류자공반응천사법재Al기저상제비료ZrN2급Ti다층박막。이용소묘아헐미탐침적심도부석화선형분석기술연구료진공열처리대Ti/ZrN2/Al양품막층지간적계면화학상태화상호작용적영향。연구결과표명，진공열처리사Ti/ZrN2/Al박막계면상발생료명현적계면확산화화학반응，생성료TiNx물충，병차박막내층발생료엄중적양화반응。
