微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2002年
1期
10-12,65
,共4页
数字处理技术%电子束缩小投影曝光机%对准系统
數字處理技術%電子束縮小投影曝光機%對準繫統
수자처리기술%전자속축소투영폭광궤%대준계통
介绍电子束缩小投影曝光机对准系统的构成及原理,阐述数字处理技术在对准系统中的应用,以及对准数据的产生及数字处理的软件设计,并给出实际测试结果.
介紹電子束縮小投影曝光機對準繫統的構成及原理,闡述數字處理技術在對準繫統中的應用,以及對準數據的產生及數字處理的軟件設計,併給齣實際測試結果.
개소전자속축소투영폭광궤대준계통적구성급원리,천술수자처리기술재대준계통중적응용,이급대준수거적산생급수자처리적연건설계,병급출실제측시결과.
