真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2003年
5期
331-333,346
,共4页
张彤%胡安%毛福明%杨学谦%崔一平
張彤%鬍安%毛福明%楊學謙%崔一平
장동%호안%모복명%양학겸%최일평
电子诱导脱附%阈值能量%脱附产额%脉冲调制电子探束
電子誘導脫附%閾值能量%脫附產額%脈遲調製電子探束
전자유도탈부%역치능량%탈부산액%맥충조제전자탐속
电子诱导脱附是近年来在真空科学与表面科学领域内的热门研究课题.电子诱导脱附不仅作为研究和探讨原子激发过程以及电子能量传输机制的有效手段,而且已经逐渐成为获取表面和界面结构、状态等信息的有效方法.本文介绍了利用两种实验装置研究N2在多晶Ni表面的电子诱导脱附实验,测量了(1×10-3 Pa)条件下,N2在多晶Ni表面的脱附产额、电子诱导脱附阈值能量等重要的物理参量.实验研究工作不仅为进一步深入理解和探讨电子诱导脱附内在机制提供了直接的实验依据,而且对表面吸附状态、吸附-脱附过程等理论研究工作以及真空测量、电子轰击除气等工程应用工作都有重要意义.
電子誘導脫附是近年來在真空科學與錶麵科學領域內的熱門研究課題.電子誘導脫附不僅作為研究和探討原子激髮過程以及電子能量傳輸機製的有效手段,而且已經逐漸成為穫取錶麵和界麵結構、狀態等信息的有效方法.本文介紹瞭利用兩種實驗裝置研究N2在多晶Ni錶麵的電子誘導脫附實驗,測量瞭(1×10-3 Pa)條件下,N2在多晶Ni錶麵的脫附產額、電子誘導脫附閾值能量等重要的物理參量.實驗研究工作不僅為進一步深入理解和探討電子誘導脫附內在機製提供瞭直接的實驗依據,而且對錶麵吸附狀態、吸附-脫附過程等理論研究工作以及真空測量、電子轟擊除氣等工程應用工作都有重要意義.
전자유도탈부시근년래재진공과학여표면과학영역내적열문연구과제.전자유도탈부불부작위연구화탐토원자격발과정이급전자능량전수궤제적유효수단,이차이경축점성위획취표면화계면결구、상태등신식적유효방법.본문개소료이용량충실험장치연구N2재다정Ni표면적전자유도탈부실험,측량료(1×10-3 Pa)조건하,N2재다정Ni표면적탈부산액、전자유도탈부역치능량등중요적물리삼량.실험연구공작불부위진일보심입리해화탐토전자유도탈부내재궤제제공료직접적실험의거,이차대표면흡부상태、흡부-탈부과정등이론연구공작이급진공측량、전자굉격제기등공정응용공작도유중요의의.
