半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2006年
5期
926-931
,共6页
秦政坤%马春生%李德禄%张海明%张大明%刘式墉
秦政坤%馬春生%李德祿%張海明%張大明%劉式墉
진정곤%마춘생%리덕록%장해명%장대명%류식용
阵列波导光栅%波分复用器%工艺公差%传输光谱%串扰
陣列波導光柵%波分複用器%工藝公差%傳輸光譜%串擾
진렬파도광책%파분복용기%공예공차%전수광보%천우
依据阵列波导光栅(AWG)的传输理论,分析了工艺公差对硅基聚合物AWG波分复用器性能的影响.分析结果表明,工艺公差将引起AWG传输光谱的漂移,并使串扰增大.为了实现AWG器件正常的解复用功能,我们对AWG工艺公差的累积和补偿效应进行了讨论.
依據陣列波導光柵(AWG)的傳輸理論,分析瞭工藝公差對硅基聚閤物AWG波分複用器性能的影響.分析結果錶明,工藝公差將引起AWG傳輸光譜的漂移,併使串擾增大.為瞭實現AWG器件正常的解複用功能,我們對AWG工藝公差的纍積和補償效應進行瞭討論.
의거진렬파도광책(AWG)적전수이론,분석료공예공차대규기취합물AWG파분복용기성능적영향.분석결과표명,공예공차장인기AWG전수광보적표이,병사천우증대.위료실현AWG기건정상적해복용공능,아문대AWG공예공차적루적화보상효응진행료토론.
