传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2006年
8期
85-88
,共4页
毋正伟%陈德勇%杨苗苗%徐磊
毌正偉%陳德勇%楊苗苗%徐磊
무정위%진덕용%양묘묘%서뢰
加速度传感器%体硅工艺%电容式%阳极键合%微机电系统
加速度傳感器%體硅工藝%電容式%暘極鍵閤%微機電繫統
가속도전감기%체규공예%전용식%양겁건합%미궤전계통
介绍了一种基于体硅微机电系统(MEMS)工艺制作的扭摆式硅微机械加速度传感器,对制作过程的一些工艺问题进行探讨,并提出相应的解决办法,主要涉及到硅-玻璃阳极键合、结构释放等关键工艺.对测试结果进行了初步分析,分辨力可以达到1 mgn,测试±1gn范围内线性度可以达到99.99%.
介紹瞭一種基于體硅微機電繫統(MEMS)工藝製作的扭襬式硅微機械加速度傳感器,對製作過程的一些工藝問題進行探討,併提齣相應的解決辦法,主要涉及到硅-玻璃暘極鍵閤、結構釋放等關鍵工藝.對測試結果進行瞭初步分析,分辨力可以達到1 mgn,測試±1gn範圍內線性度可以達到99.99%.
개소료일충기우체규미궤전계통(MEMS)공예제작적뉴파식규미궤계가속도전감기,대제작과정적일사공예문제진행탐토,병제출상응적해결판법,주요섭급도규-파리양겁건합、결구석방등관건공예.대측시결과진행료초보분석,분변력가이체도1 mgn,측시±1gn범위내선성도가이체도99.99%.
