超硬材料工程
超硬材料工程
초경재료공정
SUPERHARD MATERIAL ENGINEERING
2010年
2期
14-20
,共7页
李克华%郭强%赵延军%史冬丽%丁春生%刘权威%丁玉龙
李剋華%郭彊%趙延軍%史鼕麗%丁春生%劉權威%丁玉龍
리극화%곽강%조연군%사동려%정춘생%류권위%정옥룡
树脂结合剂%2000#金刚石砂轮%IC硅片%超精密背磨
樹脂結閤劑%2000#金剛石砂輪%IC硅片%超精密揹磨
수지결합제%2000#금강석사륜%IC규편%초정밀배마
树脂金刚石砂轮应用于IC硅片的背面减薄磨削(背磨),工件磨削后能达到纳米级粗糙度、微米级损伤层厚度和微米级面型精度,因此对使用的砂轮性能要求很高.文章介绍了金刚石砂轮背磨技术的原理、特点,对硅片超精密背磨砂轮进行了实验研究.研制了专用的树脂结合剂,通过优化结合剂配方,使结合剂磨损速度与金刚石脱落速度达到匹配.研制的2000#金刚石砂轮经过硅片背磨试验证明,材料去除率达到10.236 mm3/s,表面粗糙度值Ra为5.122nm,损伤层厚度为2.5μm;与国外同类砂轮相比,材料去除率提高53%,硅片磨削后的表面粗糙度值接近.
樹脂金剛石砂輪應用于IC硅片的揹麵減薄磨削(揹磨),工件磨削後能達到納米級粗糙度、微米級損傷層厚度和微米級麵型精度,因此對使用的砂輪性能要求很高.文章介紹瞭金剛石砂輪揹磨技術的原理、特點,對硅片超精密揹磨砂輪進行瞭實驗研究.研製瞭專用的樹脂結閤劑,通過優化結閤劑配方,使結閤劑磨損速度與金剛石脫落速度達到匹配.研製的2000#金剛石砂輪經過硅片揹磨試驗證明,材料去除率達到10.236 mm3/s,錶麵粗糙度值Ra為5.122nm,損傷層厚度為2.5μm;與國外同類砂輪相比,材料去除率提高53%,硅片磨削後的錶麵粗糙度值接近.
수지금강석사륜응용우IC규편적배면감박마삭(배마),공건마삭후능체도납미급조조도、미미급손상층후도화미미급면형정도,인차대사용적사륜성능요구흔고.문장개소료금강석사륜배마기술적원리、특점,대규편초정밀배마사륜진행료실험연구.연제료전용적수지결합제,통과우화결합제배방,사결합제마손속도여금강석탈락속도체도필배.연제적2000#금강석사륜경과규편배마시험증명,재료거제솔체도10.236 mm3/s,표면조조도치Ra위5.122nm,손상층후도위2.5μm;여국외동류사륜상비,재료거제솔제고53%,규편마삭후적표면조조도치접근.
