半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2011年
2期
97-100
,共4页
潘静%孙聂枫%朱嘉祯%杨瑞霞%李晓岚%杨帆%骆新江
潘靜%孫聶楓%硃嘉禎%楊瑞霞%李曉嵐%楊帆%駱新江
반정%손섭풍%주가정%양서하%리효람%양범%락신강
磷化铟%晶体%四波混频%深陷阱%载流子动力学
燐化銦%晶體%四波混頻%深陷阱%載流子動力學
린화인%정체%사파혼빈%심함정%재류자동역학
利用四波混频(FWM)技术测试了非掺杂、掺Fe半绝缘InP单晶的光电特性, 对载流子的产生、复合和输运等过程进行了研究,分析了深陷阱在载流子的产生与输运中的作用,并给予了解释.利用光栅衰减动力学得到在不同激发水平下非平衡自由载流子的扩散系数和复合时间.通过分析衍射效率和激发能量之间的相互关系,测定了缺陷的电学特性,即它们在光照下的传输和对载流子传输的贡献.这种技术可以通过测量时间和空间上的载流子分布,进而利用光学技术测试半导体材料的光电特性.
利用四波混頻(FWM)技術測試瞭非摻雜、摻Fe半絕緣InP單晶的光電特性, 對載流子的產生、複閤和輸運等過程進行瞭研究,分析瞭深陷阱在載流子的產生與輸運中的作用,併給予瞭解釋.利用光柵衰減動力學得到在不同激髮水平下非平衡自由載流子的擴散繫數和複閤時間.通過分析衍射效率和激髮能量之間的相互關繫,測定瞭缺陷的電學特性,即它們在光照下的傳輸和對載流子傳輸的貢獻.這種技術可以通過測量時間和空間上的載流子分佈,進而利用光學技術測試半導體材料的光電特性.
이용사파혼빈(FWM)기술측시료비참잡、참Fe반절연InP단정적광전특성, 대재류자적산생、복합화수운등과정진행료연구,분석료심함정재재류자적산생여수운중적작용,병급여료해석.이용광책쇠감동역학득도재불동격발수평하비평형자유재류자적확산계수화복합시간.통과분석연사효솔화격발능량지간적상호관계,측정료결함적전학특성,즉타문재광조하적전수화대재류자전수적공헌.저충기술가이통과측량시간화공간상적재류자분포,진이이용광학기술측시반도체재료적광전특성.
