机械制造与自动化
機械製造與自動化
궤계제조여자동화
JIANGSU MACHINE BUILDING & AUTOMATION
2012年
3期
34-36,48
,共4页
张旭辉%左敦稳%徐锋%庆振华%黄美健%郑琳
張旭輝%左敦穩%徐鋒%慶振華%黃美健%鄭琳
장욱휘%좌돈은%서봉%경진화%황미건%정림
热丝化学气相沉积%金刚石涂层%表面粗糙度
熱絲化學氣相沉積%金剛石塗層%錶麵粗糙度
열사화학기상침적%금강석도층%표면조조도
使用热丝化学气相沉积(HFCVD)装置,在以WC - CO硬质合金为衬底,采用调节涂层生长参数,制备出性能优良的微/纳米金刚石涂层.用SEM,AFM,Raman表征微观结构和表面品质.采用压痕法评估涂层的结合性能,并与微米金刚石涂层、纳米金刚石涂层进行比较.结果显示,当生长气压由3.3 kPa降为1.0 kPa时,底层的微米级晶粒逐渐被上层纳米级晶粒覆盖,并且涂层表面显露出纳米金刚石涂层特性.在结合性能实验中也指出,微/纳米金刚石涂层的结合性能比纳米金刚石涂层要优异.
使用熱絲化學氣相沉積(HFCVD)裝置,在以WC - CO硬質閤金為襯底,採用調節塗層生長參數,製備齣性能優良的微/納米金剛石塗層.用SEM,AFM,Raman錶徵微觀結構和錶麵品質.採用壓痕法評估塗層的結閤性能,併與微米金剛石塗層、納米金剛石塗層進行比較.結果顯示,噹生長氣壓由3.3 kPa降為1.0 kPa時,底層的微米級晶粒逐漸被上層納米級晶粒覆蓋,併且塗層錶麵顯露齣納米金剛石塗層特性.在結閤性能實驗中也指齣,微/納米金剛石塗層的結閤性能比納米金剛石塗層要優異.
사용열사화학기상침적(HFCVD)장치,재이WC - CO경질합금위츤저,채용조절도층생장삼수,제비출성능우량적미/납미금강석도층.용SEM,AFM,Raman표정미관결구화표면품질.채용압흔법평고도층적결합성능,병여미미금강석도층、납미금강석도층진행비교.결과현시,당생장기압유3.3 kPa강위1.0 kPa시,저층적미미급정립축점피상층납미급정립복개,병차도층표면현로출납미금강석도층특성.재결합성능실험중야지출,미/납미금강석도층적결합성능비납미금강석도층요우이.
