光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2004年
2期
34-36,43
,共4页
李兰%沈光地%邹德恕%刘铮%邓军%杨道虹%吴畯苗
李蘭%瀋光地%鄒德恕%劉錚%鄧軍%楊道虹%吳畯苗
리란%침광지%추덕서%류쟁%산군%양도홍%오준묘
红外探测器%微机械%弹性敏感薄膜%红外吸收气体
紅外探測器%微機械%彈性敏感薄膜%紅外吸收氣體
홍외탐측기%미궤계%탄성민감박막%홍외흡수기체
利用红外吸收气体直接吸收红外辐射的原理,设计出一种新型室温红外探测器.当密闭腔内气体吸收红外辐射后,腔内压强增大使弹性薄膜形变,由以弹性薄膜为可动极板的微电容结构的电容变化量,可测得红外辐射的大小.采用微机械技术制作的探测器,对8-14μm红外辐射有灵敏、快速的响应,灵敏度≥2×10-3 pF/mW.
利用紅外吸收氣體直接吸收紅外輻射的原理,設計齣一種新型室溫紅外探測器.噹密閉腔內氣體吸收紅外輻射後,腔內壓彊增大使彈性薄膜形變,由以彈性薄膜為可動極闆的微電容結構的電容變化量,可測得紅外輻射的大小.採用微機械技術製作的探測器,對8-14μm紅外輻射有靈敏、快速的響應,靈敏度≥2×10-3 pF/mW.
이용홍외흡수기체직접흡수홍외복사적원리,설계출일충신형실온홍외탐측기.당밀폐강내기체흡수홍외복사후,강내압강증대사탄성박막형변,유이탄성박막위가동겁판적미전용결구적전용변화량,가측득홍외복사적대소.채용미궤계기술제작적탐측기,대8-14μm홍외복사유령민、쾌속적향응,령민도≥2×10-3 pF/mW.
