稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2005年
2期
306-308
,共3页
周育先%方珍意%潘伟%杨曜源%张力强%王向阳%肖红涛
週育先%方珍意%潘偉%楊曜源%張力彊%王嚮暘%肖紅濤
주육선%방진의%반위%양요원%장력강%왕향양%초홍도
ZnSe%红外%化学气相沉积%CVD%透过
ZnSe%紅外%化學氣相沉積%CVD%透過
ZnSe%홍외%화학기상침적%CVD%투과
以单质Zn,Se和H2为原料,采用低压化学气相沉积方法在温度为630℃～750℃,压力为300Pa～1000 Pa条件下制备出了性能优异的ZnSe多晶材料.性能测试表明,制备出的CVD ZnSe多晶材料在0.55 μm～22 μm,及8μm～14μm波段的平均透过率超过70%(1 mm厚),在3.39μm处的应力双折射为54 nm/cm.其光学透过性能与美国采用Zn和H2Se气体为原料制备出的CVD ZnSe多晶非常接近.
以單質Zn,Se和H2為原料,採用低壓化學氣相沉積方法在溫度為630℃～750℃,壓力為300Pa～1000 Pa條件下製備齣瞭性能優異的ZnSe多晶材料.性能測試錶明,製備齣的CVD ZnSe多晶材料在0.55 μm～22 μm,及8μm～14μm波段的平均透過率超過70%(1 mm厚),在3.39μm處的應力雙摺射為54 nm/cm.其光學透過性能與美國採用Zn和H2Se氣體為原料製備齣的CVD ZnSe多晶非常接近.
이단질Zn,Se화H2위원료,채용저압화학기상침적방법재온도위630℃～750℃,압력위300Pa～1000 Pa조건하제비출료성능우이적ZnSe다정재료.성능측시표명,제비출적CVD ZnSe다정재료재0.55 μm～22 μm,급8μm～14μm파단적평균투과솔초과70%(1 mm후),재3.39μm처적응력쌍절사위54 nm/cm.기광학투과성능여미국채용Zn화H2Se기체위원료제비출적CVD ZnSe다정비상접근.
