原子能科学技术
原子能科學技術
원자능과학기술
ATOMIC ENERGY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
z1期
88-93,103
,共7页
郑华%刘实%于洪波%朱跃进%王隆保%施力群%刘超卓
鄭華%劉實%于洪波%硃躍進%王隆保%施力群%劉超卓
정화%류실%우홍파%주약진%왕륭보%시력군%류초탁
磁控溅射%Ti膜%氦%热解吸
磁控濺射%Ti膜%氦%熱解吸
자공천사%Ti막%양%열해흡
采用He/Ar复合气氛下磁控溅射方法,在Ti、TiZrYAl 和TiMoYAl等3种薄膜中引入浓度(氦-金属比)高达0.19的氦.引入的氦在膜层内沿深度均匀分布,并主要存在于直径为2～5 nm的高压He泡内.热解吸实验表明,在相同He含量下,TiHe膜中He的解吸峰温度与氚化钛中衰变产生的3He的解吸峰温度基本一致.与纯钛相比,合金膜中氦的热解吸谱宽化明显,表明He在合金膜内的捕获形式更为复杂.
採用He/Ar複閤氣氛下磁控濺射方法,在Ti、TiZrYAl 和TiMoYAl等3種薄膜中引入濃度(氦-金屬比)高達0.19的氦.引入的氦在膜層內沿深度均勻分佈,併主要存在于直徑為2～5 nm的高壓He泡內.熱解吸實驗錶明,在相同He含量下,TiHe膜中He的解吸峰溫度與氚化鈦中衰變產生的3He的解吸峰溫度基本一緻.與純鈦相比,閤金膜中氦的熱解吸譜寬化明顯,錶明He在閤金膜內的捕穫形式更為複雜.
채용He/Ar복합기분하자공천사방법,재Ti、TiZrYAl 화TiMoYAl등3충박막중인입농도(양-금속비)고체0.19적양.인입적양재막층내연심도균균분포,병주요존재우직경위2～5 nm적고압He포내.열해흡실험표명,재상동He함량하,TiHe막중He적해흡봉온도여천화태중쇠변산생적3He적해흡봉온도기본일치.여순태상비,합금막중양적열해흡보관화명현,표명He재합금막내적포획형식경위복잡.
