光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2008年
5期
651-654,658
,共5页
焦长君%李圣怡%解旭辉%王登峰%周林
焦長君%李聖怡%解旭輝%王登峰%週林
초장군%리골이%해욱휘%왕등봉%주림
离子束加工%去除函数%稳定性%工艺可控性
離子束加工%去除函數%穩定性%工藝可控性
리자속가공%거제함수%은정성%공예가공성
实验分析了离子束加工去除函数的工艺可控性问题并进行了初步修形实验.从工艺实现 的角度分析光学镜面离子束加工技术对去除函数的要求,以去除函数环半峰全宽、体积去除 率和峰值去除率为评价指标研究去除函数的长时稳定性、线性性、小扰动鲁棒性以及大参数调节变化等特征,以此分析结果为依据,对Φ100mm K4平面样件进行了修形,经过三次迭代面形RMS误差从0.149λ收敛到0.013λ.实验结果表明:离子束加工中的去除函数具有较长 时稳定性,去除量对时间具有线性关系,对工艺参数小扰动的鲁棒性,可以通过调节离子源 电源参数优化选取去除函数的宽度和幅值;利用离子束可以对镜面进行高效地修形.
實驗分析瞭離子束加工去除函數的工藝可控性問題併進行瞭初步脩形實驗.從工藝實現 的角度分析光學鏡麵離子束加工技術對去除函數的要求,以去除函數環半峰全寬、體積去除 率和峰值去除率為評價指標研究去除函數的長時穩定性、線性性、小擾動魯棒性以及大參數調節變化等特徵,以此分析結果為依據,對Φ100mm K4平麵樣件進行瞭脩形,經過三次迭代麵形RMS誤差從0.149λ收斂到0.013λ.實驗結果錶明:離子束加工中的去除函數具有較長 時穩定性,去除量對時間具有線性關繫,對工藝參數小擾動的魯棒性,可以通過調節離子源 電源參數優化選取去除函數的寬度和幅值;利用離子束可以對鏡麵進行高效地脩形.
실험분석료리자속가공거제함수적공예가공성문제병진행료초보수형실험.종공예실현 적각도분석광학경면리자속가공기술대거제함수적요구,이거제함수배반봉전관、체적거제 솔화봉치거제솔위평개지표연구거제함수적장시은정성、선성성、소우동로봉성이급대삼수조절변화등특정,이차분석결과위의거,대Φ100mm K4평면양건진행료수형,경과삼차질대면형RMS오차종0.149λ수렴도0.013λ.실험결과표명:리자속가공중적거제함수구유교장 시은정성,거제량대시간구유선성관계,대공예삼수소우동적로봉성,가이통과조절리자원 전원삼수우화선취거제함수적관도화폭치;이용리자속가이대경면진행고효지수형.
