电子测量与仪器学报
電子測量與儀器學報
전자측량여의기학보
JOURNAL OF ELECTRONIC MEASUREMENT AND INSTRUMENT
2008年
z2期
359-365
,共7页
陈晓梅%马晓苏%朱振宇%杨德良
陳曉梅%馬曉囌%硃振宇%楊德良
진효매%마효소%주진우%양덕량
扫描力显微镜(SFM)%纳米测量机(NMM)%扫描器
掃描力顯微鏡(SFM)%納米測量機(NMM)%掃描器
소묘력현미경(SFM)%납미측량궤(NMM)%소묘기
本文主要介绍了用于扫描力显微镜并带动探针运动的扫描器的研制.利用该扫描器,研制了能安装在纳米测量机上作为探测传感器的上扫描力显微镜.扫描力显微镜与中科院化学所本原纳米仪器公司的扫描探针显微镜控制器联接进行实验测试,在23μm×23μm×5μm的扫描范围对样品进行了扫描成像.经测试、分析和计算,在全量程扫描范围内横向和纵向分辨力分别为O.35nm和0.1m、在未有任何软件和硬件补偿的情况下横向满量程扫描范围内精度为5%.
本文主要介紹瞭用于掃描力顯微鏡併帶動探針運動的掃描器的研製.利用該掃描器,研製瞭能安裝在納米測量機上作為探測傳感器的上掃描力顯微鏡.掃描力顯微鏡與中科院化學所本原納米儀器公司的掃描探針顯微鏡控製器聯接進行實驗測試,在23μm×23μm×5μm的掃描範圍對樣品進行瞭掃描成像.經測試、分析和計算,在全量程掃描範圍內橫嚮和縱嚮分辨力分彆為O.35nm和0.1m、在未有任何軟件和硬件補償的情況下橫嚮滿量程掃描範圍內精度為5%.
본문주요개소료용우소묘력현미경병대동탐침운동적소묘기적연제.이용해소묘기,연제료능안장재납미측량궤상작위탐측전감기적상소묘력현미경.소묘력현미경여중과원화학소본원납미의기공사적소묘탐침현미경공제기련접진행실험측시,재23μm×23μm×5μm적소묘범위대양품진행료소묘성상.경측시、분석화계산,재전량정소묘범위내횡향화종향분변력분별위O.35nm화0.1m、재미유임하연건화경건보상적정황하횡향만량정소묘범위내정도위5%.
