固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2010年
2期
208-211
,共4页
孔岑%李辉%张万里%陈辰%陈效建
孔岑%李輝%張萬裏%陳辰%陳效建
공잠%리휘%장만리%진신%진효건
磁性金属颗粒膜%磁膜电感%单片微波集成电路工艺%图形化磁膜
磁性金屬顆粒膜%磁膜電感%單片微波集成電路工藝%圖形化磁膜
자성금속과립막%자막전감%단편미파집성전로공예%도형화자막
在蓝宝石基的氮化镓衬底上采用射频磁控溅射结合剥离的方法制作了NiFe-SiOx磁性金属颗粒膜,利用PECVD淀积绝缘层,制备出"SiN绝缘层/NiFe-SiOx薄膜/SiN绝缘层/金属线圈"结构的平面电感.测试表明,对于单圈电感,与无磁膜结构相对比在1 GHz时电感量有30%的提升,且对Q值影响不大;对于多圈电感,电感量与电感结构密切相关,当磁膜同时存在于线圈下和线圈之间时对电感量提升最大,但截止频率较低;而磁膜在电感线圈正下方的结构对电感量提升较前一种磁膜电感低,但截止频率较前一种磁膜电感高.
在藍寶石基的氮化鎵襯底上採用射頻磁控濺射結閤剝離的方法製作瞭NiFe-SiOx磁性金屬顆粒膜,利用PECVD澱積絕緣層,製備齣"SiN絕緣層/NiFe-SiOx薄膜/SiN絕緣層/金屬線圈"結構的平麵電感.測試錶明,對于單圈電感,與無磁膜結構相對比在1 GHz時電感量有30%的提升,且對Q值影響不大;對于多圈電感,電感量與電感結構密切相關,噹磁膜同時存在于線圈下和線圈之間時對電感量提升最大,但截止頻率較低;而磁膜在電感線圈正下方的結構對電感量提升較前一種磁膜電感低,但截止頻率較前一種磁膜電感高.
재람보석기적담화가츤저상채용사빈자공천사결합박리적방법제작료NiFe-SiOx자성금속과립막,이용PECVD정적절연층,제비출"SiN절연층/NiFe-SiOx박막/SiN절연층/금속선권"결구적평면전감.측시표명,대우단권전감,여무자막결구상대비재1 GHz시전감량유30%적제승,차대Q치영향불대;대우다권전감,전감량여전감결구밀절상관,당자막동시존재우선권하화선권지간시대전감량제승최대,단절지빈솔교저;이자막재전감선권정하방적결구대전감량제승교전일충자막전감저,단절지빈솔교전일충자막전감고.
