微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2010年
3期
434-435,439
,共3页
芯片%凸点%电镀%清洁生产
芯片%凸點%電鍍%清潔生產
심편%철점%전도%청길생산
清洁生产技术越来越受到重视,我国已经将推进清洁生产提到法律的高度.通过在芯片凸点电镀过程中优选电镀液配方及施镀方式,采用等离子清洗技术,优化阴极夹具,改善镀层厚度均匀性等措施,达到提高资源利用率,减少污染物的产生,减轻对人和环境危害的目的.
清潔生產技術越來越受到重視,我國已經將推進清潔生產提到法律的高度.通過在芯片凸點電鍍過程中優選電鍍液配方及施鍍方式,採用等離子清洗技術,優化陰極夾具,改善鍍層厚度均勻性等措施,達到提高資源利用率,減少汙染物的產生,減輕對人和環境危害的目的.
청길생산기술월래월수도중시,아국이경장추진청길생산제도법률적고도.통과재심편철점전도과정중우선전도액배방급시도방식,채용등리자청세기술,우화음겁협구,개선도층후도균균성등조시,체도제고자원이용솔,감소오염물적산생,감경대인화배경위해적목적.
