人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
5期
1141-1145
,共5页
袁佳晶%卢文壮%王红军%徐锋%左敦稳
袁佳晶%盧文壯%王紅軍%徐鋒%左敦穩
원가정%로문장%왕홍군%서봉%좌돈은
CVD金刚石%模型%微结构%HFCVD
CVD金剛石%模型%微結構%HFCVD
CVD금강석%모형%미결구%HFCVD
CVD金刚石膜是一种具有众多卓越特性的功能材料,在微机电系统(MEMS)领域有着广泛的应用前景.金刚石膜的精密微细图形化加工技术是将金刚石材料应用于MEMS微器件的关键技术.本文开展了金刚石微结构的制备实验研究,利用在硅微模具中沉积金刚石膜的方法成功制作了微细梁、微圆柱、十字结构、文字图形等一系列金刚石微结构.Raman、SEM、ADE等多种理化分析结果表明采用这种模型复制工艺能够获得表面质量好、图形复杂、形状和尺寸精度很高的金刚石微结构,并能够实现批量制造,是制作金刚石微器件的理想方法.
CVD金剛石膜是一種具有衆多卓越特性的功能材料,在微機電繫統(MEMS)領域有著廣汎的應用前景.金剛石膜的精密微細圖形化加工技術是將金剛石材料應用于MEMS微器件的關鍵技術.本文開展瞭金剛石微結構的製備實驗研究,利用在硅微模具中沉積金剛石膜的方法成功製作瞭微細樑、微圓柱、十字結構、文字圖形等一繫列金剛石微結構.Raman、SEM、ADE等多種理化分析結果錶明採用這種模型複製工藝能夠穫得錶麵質量好、圖形複雜、形狀和呎吋精度很高的金剛石微結構,併能夠實現批量製造,是製作金剛石微器件的理想方法.
CVD금강석막시일충구유음다탁월특성적공능재료,재미궤전계통(MEMS)영역유착엄범적응용전경.금강석막적정밀미세도형화가공기술시장금강석재료응용우MEMS미기건적관건기술.본문개전료금강석미결구적제비실험연구,이용재규미모구중침적금강석막적방법성공제작료미세량、미원주、십자결구、문자도형등일계렬금강석미결구.Raman、SEM、ADE등다충이화분석결과표명채용저충모형복제공예능구획득표면질량호、도형복잡、형상화척촌정도흔고적금강석미결구,병능구실현비량제조,시제작금강석미기건적이상방법.
