信息与电子工程
信息與電子工程
신식여전자공정
INFORMATION AND ELECTRONIC ENGINEERING
2011年
1期
96-100
,共5页
王佩红%赵小林%戴旭涵%汪忠柱
王珮紅%趙小林%戴旭涵%汪忠柱
왕패홍%조소림%대욱함%왕충주
微机电系统%振动发电机%永磁%微加工技术%铜线圈%镍弹簧
微機電繫統%振動髮電機%永磁%微加工技術%銅線圈%鎳彈簧
미궤전계통%진동발전궤%영자%미가공기술%동선권%얼탄황
提出了一种基于微电子机械系统技术的微型永磁振动发电机.该发电机能够采集自然界中存在的机械振动能并转换成电能.它主要包括1个固定的双层铜线圈和1个由永磁体和硅基平面弹簧构成的拾振系统.采用体硅微加工和微电镀技术制作硅基平面弹簧和微线圈.组装成功的样机A和样机B的区别在于线圈的尺寸不同.样机B中线圈面积为样机A中线圈面积的28%.测试表明,样机A和B的固有频率分别为222 Hz和247 Hz.在加速度为1g的振动激励下,样机A在共振状态下产生的最大感应电压和最大负载功率分别为51 mV和5.89 μW.但是,在相同的振动激励下,样机B产生的最大感应电压和最大负载功率分别为62 mV和6.4 μW,相对于样机A,分别提高了21.6%和8.7%.文中最后对线圈尺寸不同引起的输出性能不同给予了解释.
提齣瞭一種基于微電子機械繫統技術的微型永磁振動髮電機.該髮電機能夠採集自然界中存在的機械振動能併轉換成電能.它主要包括1箇固定的雙層銅線圈和1箇由永磁體和硅基平麵彈簧構成的拾振繫統.採用體硅微加工和微電鍍技術製作硅基平麵彈簧和微線圈.組裝成功的樣機A和樣機B的區彆在于線圈的呎吋不同.樣機B中線圈麵積為樣機A中線圈麵積的28%.測試錶明,樣機A和B的固有頻率分彆為222 Hz和247 Hz.在加速度為1g的振動激勵下,樣機A在共振狀態下產生的最大感應電壓和最大負載功率分彆為51 mV和5.89 μW.但是,在相同的振動激勵下,樣機B產生的最大感應電壓和最大負載功率分彆為62 mV和6.4 μW,相對于樣機A,分彆提高瞭21.6%和8.7%.文中最後對線圈呎吋不同引起的輸齣性能不同給予瞭解釋.
제출료일충기우미전자궤계계통기술적미형영자진동발전궤.해발전궤능구채집자연계중존재적궤계진동능병전환성전능.타주요포괄1개고정적쌍층동선권화1개유영자체화규기평면탄황구성적습진계통.채용체규미가공화미전도기술제작규기평면탄황화미선권.조장성공적양궤A화양궤B적구별재우선권적척촌불동.양궤B중선권면적위양궤A중선권면적적28%.측시표명,양궤A화B적고유빈솔분별위222 Hz화247 Hz.재가속도위1g적진동격려하,양궤A재공진상태하산생적최대감응전압화최대부재공솔분별위51 mV화5.89 μW.단시,재상동적진동격려하,양궤B산생적최대감응전압화최대부재공솔분별위62 mV화6.4 μW,상대우양궤A,분별제고료21.6%화8.7%.문중최후대선권척촌불동인기적수출성능불동급여료해석.
