CAJ | 학술논문

针对Wolter-Ⅰ型掠入射反射镜柱面内表面的特殊结构,研究了弹性球状小磨头以旋偏方式运动逐环带修正面形时的去除函数模型.分析了相关工艺参数,如磨头-工件旋转角速度比、旋偏角大小、磨头中心压强以及磨头和工件的趋近距离对去除函数的影响,通过实验获得了驻留时间和去除函数中心去除深度的关系.采取两步加工法控制研抛后的表面质量,分析表明:当磨头-工件角速度比为1.41时,反射镜的表面质量最好.介绍了计算机控制光学表面成形(CCOS)法加工Wolter-Ⅰ型掠入射反射镜的过程.选择微晶玻璃为反射镜的镜胚,在自行研制的研抛设备上,以不同粒径的氧化铈作为抛光液,对金刚砂砂轮粗磨后的工件进行抛光.通过改变磨头相对工件的压人深度,获得不同大小的磨头去除区域,实现了对上一个抛光周期后的残留误差的有效去除.最终获得的反射镜面形精度为PV:1.39 μm,RMS:0.34 μm,圆度均方根误差优于0.1 μtm.实验结果表明:提出的两步法旋偏加工方案可用于掠人射反射镜的加工.
침대Wolter-Ⅰ형략입사반사경주면내표면적특수결구,연구료탄성구상소마두이선편방식운동축배대수정면형시적거제함수모형.분석료상관공예삼수,여마두-공건선전각속도비、선편각대소、마두중심압강이급마두화공건적추근거리대거제함수적영향,통과실험획득료주류시간화거제함수중심거제심도적관계.채취량보가공법공제연포후적표면질량,분석표명:당마두-공건각속도비위1.41시,반사경적표면질량최호.개소료계산궤공제광학표면성형(CCOS)법가공Wolter-Ⅰ형략입사반사경적과정.선택미정파리위반사경적경배,재자행연제적연포설비상,이불동립경적양화시작위포광액,대금강사사륜조마후적공건진행포광.통과개변마두상대공건적압인심도,획득불동대소적마두거제구역,실현료대상일개포광주기후적잔류오차적유효거제.최종획득적반사경면형정도위PV:1.39 μm,RMS:0.34 μm,원도균방근오차우우0.1 μtm.실험결과표명:제출적량보법선편가공방안가용우략인사반사경적가공.