山东建筑大学学报
山東建築大學學報
산동건축대학학보
JOURNAL OF SHANDONG JIANZHU UNIVERSITY
2011年
5期
425-428,446
,共5页
韩利新%张宁玉%霍庆松%宋红莲
韓利新%張寧玉%霍慶鬆%宋紅蓮
한리신%장저옥%곽경송%송홍련
射频磁控溅射%ZnO薄膜%掺杂%结构%形貌
射頻磁控濺射%ZnO薄膜%摻雜%結構%形貌
사빈자공천사%ZnO박막%참잡%결구%형모
采用射频磁控溅射技术在室温下Si衬底上制备了ZnO薄膜和Er/Yb/Al掺杂的ZnO薄膜.通过对XRD的结构分析表明:未掺杂ZnO薄膜沿c取向性生长,掺杂ZnO薄膜偏离了正常生长,变为(102)取向性生长的纳米多晶结构；Er/Yb/Al掺杂的ZnO薄膜的晶粒尺寸随着Er元素含量的增多而减小.经AFM对其形貌分析表明:Er3+、yb3+、Al3+的掺入引起了ZnO薄膜晶格场变化,使薄膜表面粗糙度变大.
採用射頻磁控濺射技術在室溫下Si襯底上製備瞭ZnO薄膜和Er/Yb/Al摻雜的ZnO薄膜.通過對XRD的結構分析錶明:未摻雜ZnO薄膜沿c取嚮性生長,摻雜ZnO薄膜偏離瞭正常生長,變為(102)取嚮性生長的納米多晶結構；Er/Yb/Al摻雜的ZnO薄膜的晶粒呎吋隨著Er元素含量的增多而減小.經AFM對其形貌分析錶明:Er3+、yb3+、Al3+的摻入引起瞭ZnO薄膜晶格場變化,使薄膜錶麵粗糙度變大.
채용사빈자공천사기술재실온하Si츤저상제비료ZnO박막화Er/Yb/Al참잡적ZnO박막.통과대XRD적결구분석표명:미참잡ZnO박막연c취향성생장,참잡ZnO박막편리료정상생장,변위(102)취향성생장적납미다정결구；Er/Yb/Al참잡적ZnO박막적정립척촌수착Er원소함량적증다이감소.경AFM대기형모분석표명:Er3+、yb3+、Al3+적참입인기료ZnO박막정격장변화,사박막표면조조도변대.
