半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2005年
z1期
32-35
,共4页
李宝河%黄阀%杨涛%翟中海%朱逢吾
李寶河%黃閥%楊濤%翟中海%硃逢吾
리보하%황벌%양도%적중해%주봉오
L10-FePt有序相%磁控溅射%有序度%Fe/Pt多层膜
L10-FePt有序相%磁控濺射%有序度%Fe/Pt多層膜
L10-FePt유서상%자공천사%유서도%Fe/Pt다층막
采用直流磁控溅射方法制备了Fe/Pt多层膜和FePt单层薄膜,并在不同温度下真空热处理得到了有序相L10-FePt薄膜.研究表明,Fe/Pt多层膜化可以降低FePt薄膜有序相的转变温度.[Fe(1.5nm)/Pt(1.5nm)]13薄膜在350℃热处理后,有序度已经增加到0.6,而且矫顽力达到了501kA/m.多层膜化促进有序化在较低的温度下进行,这主要是因为原子在多层膜界面扩散更快.
採用直流磁控濺射方法製備瞭Fe/Pt多層膜和FePt單層薄膜,併在不同溫度下真空熱處理得到瞭有序相L10-FePt薄膜.研究錶明,Fe/Pt多層膜化可以降低FePt薄膜有序相的轉變溫度.[Fe(1.5nm)/Pt(1.5nm)]13薄膜在350℃熱處理後,有序度已經增加到0.6,而且矯頑力達到瞭501kA/m.多層膜化促進有序化在較低的溫度下進行,這主要是因為原子在多層膜界麵擴散更快.
채용직류자공천사방법제비료Fe/Pt다층막화FePt단층박막,병재불동온도하진공열처리득도료유서상L10-FePt박막.연구표명,Fe/Pt다층막화가이강저FePt박막유서상적전변온도.[Fe(1.5nm)/Pt(1.5nm)]13박막재350℃열처리후,유서도이경증가도0.6,이차교완력체도료501kA/m.다층막화촉진유서화재교저적온도하진행,저주요시인위원자재다층막계면확산경쾌.
