材料科学与工艺
材料科學與工藝
재료과학여공예
MATERIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
1期
121-123
,共3页
庄惠照%高海永%薛成山%王书运%何建廷%董志华
莊惠照%高海永%薛成山%王書運%何建廷%董誌華
장혜조%고해영%설성산%왕서운%하건정%동지화
GaN纳米管%ZnO/Ga2O3薄膜%射频磁控溅射%氮化
GaN納米管%ZnO/Ga2O3薄膜%射頻磁控濺射%氮化
GaN납미관%ZnO/Ga2O3박막%사빈자공천사%담화
利用射频磁控溅射法在Si(111)衬底上先溅射ZnO中间层,接着溅射Ga2O3 薄膜,然后ZnO/Ga2O3薄膜在管式炉中常压下通氨气进行氮化,高温下ZnO层在氨气的气氛中挥发,而Ga2O3薄膜和氨气反应合成出GaN纳米管.X射线衍射(XRD)测量结果表明利用该方法制备的GaN具有沿c轴方向择优生长的六角纤锌矿结构.利用傅里叶红外光谱(FTIR)研究了所制备样品的光学性质.利用透射电子显微镜(TEM)和选区电子衍射(SAED)观测了样品的形貌和晶格结构.
利用射頻磁控濺射法在Si(111)襯底上先濺射ZnO中間層,接著濺射Ga2O3 薄膜,然後ZnO/Ga2O3薄膜在管式爐中常壓下通氨氣進行氮化,高溫下ZnO層在氨氣的氣氛中揮髮,而Ga2O3薄膜和氨氣反應閤成齣GaN納米管.X射線衍射(XRD)測量結果錶明利用該方法製備的GaN具有沿c軸方嚮擇優生長的六角纖鋅礦結構.利用傅裏葉紅外光譜(FTIR)研究瞭所製備樣品的光學性質.利用透射電子顯微鏡(TEM)和選區電子衍射(SAED)觀測瞭樣品的形貌和晶格結構.
이용사빈자공천사법재Si(111)츤저상선천사ZnO중간층,접착천사Ga2O3 박막,연후ZnO/Ga2O3박막재관식로중상압하통안기진행담화,고온하ZnO층재안기적기분중휘발,이Ga2O3박막화안기반응합성출GaN납미관.X사선연사(XRD)측량결과표명이용해방법제비적GaN구유연c축방향택우생장적륙각섬자광결구.이용부리협홍외광보(FTIR)연구료소제비양품적광학성질.이용투사전자현미경(TEM)화선구전자연사(SAED)관측료양품적형모화정격결구.
