低温与超导
低溫與超導
저온여초도
CRYOGENICS AND SUPERCONDUCTIVITY
2008年
12期
23-27
,共5页
贺镜潭%熊杰%陶伯万%杜洪立%柴刚%肖山
賀鏡潭%熊傑%陶伯萬%杜洪立%柴剛%肖山
하경담%웅걸%도백만%두홍립%시강%초산
YBCO高温超导薄膜%平面靶直流溅射%负离子反溅射
YBCO高溫超導薄膜%平麵靶直流濺射%負離子反濺射
YBCO고온초도박막%평면파직류천사%부리자반천사
开展了平面靶溅射法制备YBa2Cu3O7-δ(YBCO)高温超导薄膜工艺研究,以达到提高沉积速率的目的.通过增加工作气体总压(Pt),采用基片旋转达到离轴溅射模式,有效地克服了传统平面靶直流溅射法中高能粒子轰击和负离子反溅射现象.在两英寸LaAlO3(LAO)基片上成功外延生长得到了微观结构良好、电学性能优越(临界电流密度Jc =2.3/2.0mA/cm2)的双面YBCO高温超导薄膜.
開展瞭平麵靶濺射法製備YBa2Cu3O7-δ(YBCO)高溫超導薄膜工藝研究,以達到提高沉積速率的目的.通過增加工作氣體總壓(Pt),採用基片鏇轉達到離軸濺射模式,有效地剋服瞭傳統平麵靶直流濺射法中高能粒子轟擊和負離子反濺射現象.在兩英吋LaAlO3(LAO)基片上成功外延生長得到瞭微觀結構良好、電學性能優越(臨界電流密度Jc =2.3/2.0mA/cm2)的雙麵YBCO高溫超導薄膜.
개전료평면파천사법제비YBa2Cu3O7-δ(YBCO)고온초도박막공예연구,이체도제고침적속솔적목적.통과증가공작기체총압(Pt),채용기편선전체도리축천사모식,유효지극복료전통평면파직류천사법중고능입자굉격화부리자반천사현상.재량영촌LaAlO3(LAO)기편상성공외연생장득도료미관결구량호、전학성능우월(림계전류밀도Jc =2.3/2.0mA/cm2)적쌍면YBCO고온초도박막.
