光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2009年
5期
140-144
,共5页
差分白光干涉%双路%干涉谱%小波变换%均方差%数据处理%信噪比
差分白光榦涉%雙路%榦涉譜%小波變換%均方差%數據處理%信譟比
차분백광간섭%쌍로%간섭보%소파변환%균방차%수거처리%신조비
差分白光干涉法测量极薄金属带材厚度时,为了克服传统极值法在白光干涉谱数据处理中抗噪声能力差的缺点,提出了一种基于最小均方差(MMSE)意义下的小波变换处理方法.该方法首先对干涉谱测量值进行归一化处理,消除低频光强变化的影响,并用极值法求得光程差(OPD)的初值.然后求归一化后的干涉谱与基于初值的理想干涉谱之间的均方差,当干涉谱的光程差的某个估计值与实际值最接近时,对应的干涉谱的均方差最小.通过逼近法获得均方差最小时对应的估计值.数值仿真和实验结果表明,利用该方法处理差分白光干涉谱数据,可以获得优于极值法的更高的数据精度,而且有效地提高了信噪比.
差分白光榦涉法測量極薄金屬帶材厚度時,為瞭剋服傳統極值法在白光榦涉譜數據處理中抗譟聲能力差的缺點,提齣瞭一種基于最小均方差(MMSE)意義下的小波變換處理方法.該方法首先對榦涉譜測量值進行歸一化處理,消除低頻光彊變化的影響,併用極值法求得光程差(OPD)的初值.然後求歸一化後的榦涉譜與基于初值的理想榦涉譜之間的均方差,噹榦涉譜的光程差的某箇估計值與實際值最接近時,對應的榦涉譜的均方差最小.通過逼近法穫得均方差最小時對應的估計值.數值倣真和實驗結果錶明,利用該方法處理差分白光榦涉譜數據,可以穫得優于極值法的更高的數據精度,而且有效地提高瞭信譟比.
차분백광간섭법측량겁박금속대재후도시,위료극복전통겁치법재백광간섭보수거처리중항조성능력차적결점,제출료일충기우최소균방차(MMSE)의의하적소파변환처리방법.해방법수선대간섭보측량치진행귀일화처리,소제저빈광강변화적영향,병용겁치법구득광정차(OPD)적초치.연후구귀일화후적간섭보여기우초치적이상간섭보지간적균방차,당간섭보적광정차적모개고계치여실제치최접근시,대응적간섭보적균방차최소.통과핍근법획득균방차최소시대응적고계치.수치방진화실험결과표명,이용해방법처리차분백광간섭보수거,가이획득우우겁치법적경고적수거정도,이차유효지제고료신조비.
