压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2010年
3期
420-422
,共3页
Bi3.15La0.75Ti3O12%铁电薄膜%玻璃相%电学性能%溶胶-凝胶(Sol-Gol)
Bi3.15La0.75Ti3O12%鐵電薄膜%玻璃相%電學性能%溶膠-凝膠(Sol-Gol)
Bi3.15La0.75Ti3O12%철전박막%파리상%전학성능%용효-응효(Sol-Gol)
采用加入硅硼玻璃相的溶胶-凝胶(Sol-Gol)技术,以无机物为原料,在低温下成功制备了Pt/Ti/SiO2/Si衬底上Bi3.15La0.75Ti3O12(BLT)铁电薄膜.XRD、AFM分析及电学性能的测i式结果表明,600～650℃退火处理的加入硅硼玻璃相BLT铁电薄膜具有单一的层状钙钛矿结构;薄膜表面平整无裂纹、致密,薄膜为多晶生长;其剩余极化强度(2Pr)为27.09 μC/cm2,矫顽场E约为53.1 kV/cm;室温下,在测试频率为1 MHz,经1.0×1011极化反转后,剩余极化值下降约10%,具有良好的抗疲劳特性;薄膜的漏电流密度低于9×10-10 A/cm2.玻璃相提高了薄膜的致密度和抗疲劳特性,降低了薄膜的漏电流密度,对剩余极化强度影响有限.
採用加入硅硼玻璃相的溶膠-凝膠(Sol-Gol)技術,以無機物為原料,在低溫下成功製備瞭Pt/Ti/SiO2/Si襯底上Bi3.15La0.75Ti3O12(BLT)鐵電薄膜.XRD、AFM分析及電學性能的測i式結果錶明,600～650℃退火處理的加入硅硼玻璃相BLT鐵電薄膜具有單一的層狀鈣鈦礦結構;薄膜錶麵平整無裂紋、緻密,薄膜為多晶生長;其剩餘極化彊度(2Pr)為27.09 μC/cm2,矯頑場E約為53.1 kV/cm;室溫下,在測試頻率為1 MHz,經1.0×1011極化反轉後,剩餘極化值下降約10%,具有良好的抗疲勞特性;薄膜的漏電流密度低于9×10-10 A/cm2.玻璃相提高瞭薄膜的緻密度和抗疲勞特性,降低瞭薄膜的漏電流密度,對剩餘極化彊度影響有限.
채용가입규붕파리상적용효-응효(Sol-Gol)기술,이무궤물위원료,재저온하성공제비료Pt/Ti/SiO2/Si츤저상Bi3.15La0.75Ti3O12(BLT)철전박막.XRD、AFM분석급전학성능적측i식결과표명,600～650℃퇴화처리적가입규붕파리상BLT철전박막구유단일적층상개태광결구;박막표면평정무렬문、치밀,박막위다정생장;기잉여겁화강도(2Pr)위27.09 μC/cm2,교완장E약위53.1 kV/cm;실온하,재측시빈솔위1 MHz,경1.0×1011겁화반전후,잉여겁화치하강약10%,구유량호적항피로특성;박막적루전류밀도저우9×10-10 A/cm2.파리상제고료박막적치밀도화항피로특성,강저료박막적루전류밀도,대잉여겁화강도영향유한.
