功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2011年
z1期
102-105
,共4页
谷坤明%吕乐阳%毛斐%虞烈%汤皎宁
穀坤明%呂樂暘%毛斐%虞烈%湯皎寧
곡곤명%려악양%모비%우렬%탕교저
ECR-CVD%DLC膜%内应力
ECR-CVD%DLC膜%內應力
ECR-CVD%DLC막%내응력
采用ECR微波等离子体增强化学气相沉积的方法于C1H2/H2/Ar2等离子环境中在单晶Si(111)晶面上制备了不同厚度的DLC膜样品,研究了薄膜的厚度随沉积时间的变化及薄膜的硬度、内应力随厚度的变化关系.结果表明,在沉积时间变化范围内,厚度与沉积时间基本呈线性关系,沉积速率可达80nm/min;制备态样品存在的内应力先随厚度增加而增加,当薄膜内应力超过某临界值时将通过表面崩裂达到应力松弛效果,XRD测得基底Si(111)峰位偏移先随厚度增加而增加,随后变化趋于平缓,表明薄膜表面崩裂后内应力维持在一定水平,但薄膜的硬度测量值受到表面崩裂程度影响.
採用ECR微波等離子體增彊化學氣相沉積的方法于C1H2/H2/Ar2等離子環境中在單晶Si(111)晶麵上製備瞭不同厚度的DLC膜樣品,研究瞭薄膜的厚度隨沉積時間的變化及薄膜的硬度、內應力隨厚度的變化關繫.結果錶明,在沉積時間變化範圍內,厚度與沉積時間基本呈線性關繫,沉積速率可達80nm/min;製備態樣品存在的內應力先隨厚度增加而增加,噹薄膜內應力超過某臨界值時將通過錶麵崩裂達到應力鬆弛效果,XRD測得基底Si(111)峰位偏移先隨厚度增加而增加,隨後變化趨于平緩,錶明薄膜錶麵崩裂後內應力維持在一定水平,但薄膜的硬度測量值受到錶麵崩裂程度影響.
채용ECR미파등리자체증강화학기상침적적방법우C1H2/H2/Ar2등리자배경중재단정Si(111)정면상제비료불동후도적DLC막양품,연구료박막적후도수침적시간적변화급박막적경도、내응력수후도적변화관계.결과표명,재침적시간변화범위내,후도여침적시간기본정선성관계,침적속솔가체80nm/min;제비태양품존재적내응력선수후도증가이증가,당박막내응력초과모림계치시장통과표면붕렬체도응력송이효과,XRD측득기저Si(111)봉위편이선수후도증가이증가,수후변화추우평완,표명박막표면붕렬후내응력유지재일정수평,단박막적경도측량치수도표면붕렬정도영향.
