测试技术学报
測試技術學報
측시기술학보
JOURNAL OF TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY
2009年
3期
197-200
,共4页
MEMS%倾角仪%压阻
MEMS%傾角儀%壓阻
MEMS%경각의%압조
设计了一种新结构的 MEMS(Micro Electro-Mechanical Systems) 倾角仪, 该倾角仪基于压阻测量, 采用 SOI 工艺和后续加工完成. 描述了该 MEMS 倾角仪的设计、测试及其角度解算方法. 进行了角度测试实验, 结果证明了解算值与实际值符合良好, 且该倾角仪具有很高的灵敏度和 360°的测量范围.
設計瞭一種新結構的 MEMS(Micro Electro-Mechanical Systems) 傾角儀, 該傾角儀基于壓阻測量, 採用 SOI 工藝和後續加工完成. 描述瞭該 MEMS 傾角儀的設計、測試及其角度解算方法. 進行瞭角度測試實驗, 結果證明瞭解算值與實際值符閤良好, 且該傾角儀具有很高的靈敏度和 360°的測量範圍.
설계료일충신결구적 MEMS(Micro Electro-Mechanical Systems) 경각의, 해경각의기우압조측량, 채용 SOI 공예화후속가공완성. 묘술료해 MEMS 경각의적설계、측시급기각도해산방법. 진행료각도측시실험, 결과증명료해산치여실제치부합량호, 차해경각의구유흔고적령민도화 360°적측량범위.
