无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2009年
4期
783-786
,共4页
杨新波%徐军%李红军%毕群玉%程艳%苏良碧%周国清
楊新波%徐軍%李紅軍%畢群玉%程豔%囌良碧%週國清
양신파%서군%리홍군%필군옥%정염%소량벽%주국청
r面蓝宝石%非极性GaN%衬底
r麵藍寶石%非極性GaN%襯底
r면람보석%비겁성GaN%츤저
采用温梯法生长了非极性GaN外延衬底r(0112)面蓝宝石,使用化学机械抛光加工衬底表面,对衬底的结晶质量、光学性能和加工质量进行了研究.结果显示r面蓝宝石衬底基本性能参数如下:平均半峰宽值为19.4arcsec;位错密度为5.6×103cm-2,波长大于300nm时的平均透过率大于80%;光学均匀性△n=6.6×10-5;平均表面粗糙度为0.49nm.结果表明,温梯法生长的r(0112)面蓝宝石衬底结晶质量好、位错密度低、光学性能优良、加工的表面质量高,达到了GaN外延衬底的标准.
採用溫梯法生長瞭非極性GaN外延襯底r(0112)麵藍寶石,使用化學機械拋光加工襯底錶麵,對襯底的結晶質量、光學性能和加工質量進行瞭研究.結果顯示r麵藍寶石襯底基本性能參數如下:平均半峰寬值為19.4arcsec;位錯密度為5.6×103cm-2,波長大于300nm時的平均透過率大于80%;光學均勻性△n=6.6×10-5;平均錶麵粗糙度為0.49nm.結果錶明,溫梯法生長的r(0112)麵藍寶石襯底結晶質量好、位錯密度低、光學性能優良、加工的錶麵質量高,達到瞭GaN外延襯底的標準.
채용온제법생장료비겁성GaN외연츤저r(0112)면람보석,사용화학궤계포광가공츤저표면,대츤저적결정질량、광학성능화가공질량진행료연구.결과현시r면람보석츤저기본성능삼수여하:평균반봉관치위19.4arcsec;위착밀도위5.6×103cm-2,파장대우300nm시적평균투과솔대우80%;광학균균성△n=6.6×10-5;평균표면조조도위0.49nm.결과표명,온제법생장적r(0112)면람보석츤저결정질량호、위착밀도저、광학성능우량、가공적표면질량고,체도료GaN외연츤저적표준.
