中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2011年
4期
19-24
,共6页
田孟昆%余志明%刘学璋%葛婧萱%王玲%黄臣
田孟昆%餘誌明%劉學璋%葛婧萱%王玲%黃臣
전맹곤%여지명%류학장%갈청훤%왕령%황신
金刚石薄膜%铜%过渡层%化学气相沉积%附着性能
金剛石薄膜%銅%過渡層%化學氣相沉積%附著性能
금강석박막%동%과도층%화학기상침적%부착성능
采用热丝化学气相沉积(HFCVD)在纯铜基体及4种不同的过渡层(Ti、Nb、Ni、W)上制备金刚石薄膜.利用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、拉曼光谱仪(Raman)以及维氏硬度计对金刚石薄膜进行检测分析,研究了不同过渡层对金刚石薄膜形貌质量和附着性能的影响.结果表明,在纯铜基体以及多种过渡层上都能制备高纯度的金刚石薄膜；在形核率较高的基体上金刚石颗粒的尺寸较小,在Ni过渡层上金刚石颗粒的尺寸较大；金刚石薄膜在Ti过渡层上结合性能最好,但是非金刚石相最多.在Nb、W过渡层上的结合性能最差.
採用熱絲化學氣相沉積(HFCVD)在純銅基體及4種不同的過渡層(Ti、Nb、Ni、W)上製備金剛石薄膜.利用場髮射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)、拉曼光譜儀(Raman)以及維氏硬度計對金剛石薄膜進行檢測分析,研究瞭不同過渡層對金剛石薄膜形貌質量和附著性能的影響.結果錶明,在純銅基體以及多種過渡層上都能製備高純度的金剛石薄膜；在形覈率較高的基體上金剛石顆粒的呎吋較小,在Ni過渡層上金剛石顆粒的呎吋較大；金剛石薄膜在Ti過渡層上結閤性能最好,但是非金剛石相最多.在Nb、W過渡層上的結閤性能最差.
채용열사화학기상침적(HFCVD)재순동기체급4충불동적과도층(Ti、Nb、Ni、W)상제비금강석박막.이용장발사소묘전자현미경(FE-SEM)、랍만광보의(Raman)이급유씨경도계대금강석박막진행검측분석,연구료불동과도층대금강석박막형모질량화부착성능적영향.결과표명,재순동기체이급다충과도층상도능제비고순도적금강석박막；재형핵솔교고적기체상금강석과립적척촌교소,재Ni과도층상금강석과립적척촌교대；금강석박막재Ti과도층상결합성능최호,단시비금강석상최다.재Nb、W과도층상적결합성능최차.
