福州大学学报（自然科学版）
福州大學學報（自然科學版）
복주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF FUZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2006年
2期
203-205,211
,共4页
程树英%阮文农%王灵婕%林吉申
程樹英%阮文農%王靈婕%林吉申
정수영%원문농%왕령첩%림길신
氨气%MEMS%传感器%MOS结构
氨氣%MEMS%傳感器%MOS結構
안기%MEMS%전감기%MOS결구
利用MEMS技术,在硅平面上经过热氧化、掺杂、溅射、光刻、清洗等工艺,制成MOS结构的氨敏传感器,并将双加热器和测温器集成于一体.该传感器的栅极是以Pd栅为主,同时修饰多种金属薄膜.通过研究修饰催化金属薄膜的种类以及薄膜的厚度对传感器的灵敏度和选择性的影响,结果表明:采用多种金属薄膜混合修饰栅极表面的传感器对氨气有较好的选择性和稳定性;催化金属薄膜厚度在10～30nm时,该传感器对氨气最敏感.
利用MEMS技術,在硅平麵上經過熱氧化、摻雜、濺射、光刻、清洗等工藝,製成MOS結構的氨敏傳感器,併將雙加熱器和測溫器集成于一體.該傳感器的柵極是以Pd柵為主,同時脩飾多種金屬薄膜.通過研究脩飾催化金屬薄膜的種類以及薄膜的厚度對傳感器的靈敏度和選擇性的影響,結果錶明:採用多種金屬薄膜混閤脩飾柵極錶麵的傳感器對氨氣有較好的選擇性和穩定性;催化金屬薄膜厚度在10～30nm時,該傳感器對氨氣最敏感.
이용MEMS기술,재규평면상경과열양화、참잡、천사、광각、청세등공예,제성MOS결구적안민전감기,병장쌍가열기화측온기집성우일체.해전감기적책겁시이Pd책위주,동시수식다충금속박막.통과연구수식최화금속박막적충류이급박막적후도대전감기적령민도화선택성적영향,결과표명:채용다충금속박막혼합수식책겁표면적전감기대안기유교호적선택성화은정성;최화금속박막후도재10～30nm시,해전감기대안기최민감.
