太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2006年
9期
910-914
,共5页
张宇翔%许颖%李海峰%万之坚%王文静
張宇翔%許穎%李海峰%萬之堅%王文靜
장우상%허영%리해봉%만지견%왕문정
陶瓷%多晶硅薄膜%太阳电池
陶瓷%多晶硅薄膜%太暘電池
도자%다정규박막%태양전지
采用快速热化学气相沉积方法在氧化铝和氮化铝陶瓷衬底上制备多晶硅薄膜及太阳电池.多晶硅薄膜的晶粒尺寸在经过区再结晶后增大且霍尔迁移率提高,但随后的薄膜生长发现薄膜出现裂纹,影响了电池的效率,在Al2O3衬底上得到196mV开路电压,1.93mA短路电流;在AlN衬底上得到310mV开路电压,5.31mA短路电流.
採用快速熱化學氣相沉積方法在氧化鋁和氮化鋁陶瓷襯底上製備多晶硅薄膜及太暘電池.多晶硅薄膜的晶粒呎吋在經過區再結晶後增大且霍爾遷移率提高,但隨後的薄膜生長髮現薄膜齣現裂紋,影響瞭電池的效率,在Al2O3襯底上得到196mV開路電壓,1.93mA短路電流;在AlN襯底上得到310mV開路電壓,5.31mA短路電流.
채용쾌속열화학기상침적방법재양화려화담화려도자츤저상제비다정규박막급태양전지.다정규박막적정립척촌재경과구재결정후증대차곽이천이솔제고,단수후적박막생장발현박막출현렬문,영향료전지적효솔,재Al2O3츤저상득도196mV개로전압,1.93mA단로전류;재AlN츤저상득도310mV개로전압,5.31mA단로전류.
