半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2007年
1期
1-5,25
,共6页
金属氧化物半导体场效应管%微电子学%鳍状
金屬氧化物半導體場效應管%微電子學%鰭狀
금속양화물반도체장효응관%미전자학%기상
介绍了新颖的MOS器件结构及鳍状FET器件研究最新进展, 比较了几种主要新颖半导体器件的特性,指出了MOSFET尺寸缩小所面临的巨大挑战及解决办法,展望了器件未来发展趋势.
介紹瞭新穎的MOS器件結構及鰭狀FET器件研究最新進展, 比較瞭幾種主要新穎半導體器件的特性,指齣瞭MOSFET呎吋縮小所麵臨的巨大挑戰及解決辦法,展望瞭器件未來髮展趨勢.
개소료신영적MOS기건결구급기상FET기건연구최신진전, 비교료궤충주요신영반도체기건적특성,지출료MOSFET척촌축소소면림적거대도전급해결판법,전망료기건미래발전추세.
