真空
真空
진공
VACUUM
2008年
1期
37-40
,共4页
电子束蒸发%电泳%LaB6薄膜%多晶%XRD
電子束蒸髮%電泳%LaB6薄膜%多晶%XRD
전자속증발%전영%LaB6박막%다정%XRD
分别用电子束蒸发和电泳的方法在不同的衬底上制备出了LaB6薄膜,用扫描电镜(SEM)对样品表面形貌进行了分析,同时利用x射线衍射(XBD)分析了成膜参数衬底温度以及退火处理对LaB6薄膜结晶性能的影响.结果表明,所得样品为LaB6多晶薄膜,合适的衬底温度和退火处理能够提高LaB6薄膜的结晶质量.并对两种成膜方式进行了比较.
分彆用電子束蒸髮和電泳的方法在不同的襯底上製備齣瞭LaB6薄膜,用掃描電鏡(SEM)對樣品錶麵形貌進行瞭分析,同時利用x射線衍射(XBD)分析瞭成膜參數襯底溫度以及退火處理對LaB6薄膜結晶性能的影響.結果錶明,所得樣品為LaB6多晶薄膜,閤適的襯底溫度和退火處理能夠提高LaB6薄膜的結晶質量.併對兩種成膜方式進行瞭比較.
분별용전자속증발화전영적방법재불동적츤저상제비출료LaB6박막,용소묘전경(SEM)대양품표면형모진행료분석,동시이용x사선연사(XBD)분석료성막삼수츤저온도이급퇴화처리대LaB6박막결정성능적영향.결과표명,소득양품위LaB6다정박막,합괄적츤저온도화퇴화처리능구제고LaB6박막적결정질량.병대량충성막방식진행료비교.
