光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2007年
z1期
206-207,209
,共3页
光学薄膜%窄带滤光片%等离子辅助沉积
光學薄膜%窄帶濾光片%等離子輔助沉積
광학박막%착대려광편%등리자보조침적
研究了采用等离子辅助技术制备窄带滤光片的工艺.介绍了等离子辅助蒸镀系统的基本工作原理,描述了优化膜厚均匀性的过程.在有色玻璃上制备了由多层TiO2和SiO2薄膜组成的窄带滤光片,测试并分析了窄带滤光片的性能.试验结果表明,采用等离子体辅助蒸镀技术能够批量制备具有优良光学性能的窄带滤光片.
研究瞭採用等離子輔助技術製備窄帶濾光片的工藝.介紹瞭等離子輔助蒸鍍繫統的基本工作原理,描述瞭優化膜厚均勻性的過程.在有色玻璃上製備瞭由多層TiO2和SiO2薄膜組成的窄帶濾光片,測試併分析瞭窄帶濾光片的性能.試驗結果錶明,採用等離子體輔助蒸鍍技術能夠批量製備具有優良光學性能的窄帶濾光片.
연구료채용등리자보조기술제비착대려광편적공예.개소료등리자보조증도계통적기본공작원리,묘술료우화막후균균성적과정.재유색파리상제비료유다층TiO2화SiO2박막조성적착대려광편,측시병분석료착대려광편적성능.시험결과표명,채용등리자체보조증도기술능구비량제비구유우량광학성능적착대려광편.
