微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2008年
8期
462-465
,共4页
静电激励%微机电系统%加速度计%电容%动态参数
靜電激勵%微機電繫統%加速度計%電容%動態參數
정전격려%미궤전계통%가속도계%전용%동태삼수
介绍了一种电容式微Si加速度计的基本结构以及静电激振法用于电容加速度计动态参数测试的基本原理.提出了在开环条件下,采用静电激振法对该类型电容加速度计动态参数测试的电路方案.通过分析获得了扫频特性曲线和阶跃响应曲线,得到了传感器的固有频率、阻尼比.试验结果表明,采用静电激振法得到的结果与传感器设计值比较接近.可以认为,开发的动态参数测试系统是快速且有效的.
介紹瞭一種電容式微Si加速度計的基本結構以及靜電激振法用于電容加速度計動態參數測試的基本原理.提齣瞭在開環條件下,採用靜電激振法對該類型電容加速度計動態參數測試的電路方案.通過分析穫得瞭掃頻特性麯線和階躍響應麯線,得到瞭傳感器的固有頻率、阻尼比.試驗結果錶明,採用靜電激振法得到的結果與傳感器設計值比較接近.可以認為,開髮的動態參數測試繫統是快速且有效的.
개소료일충전용식미Si가속도계적기본결구이급정전격진법용우전용가속도계동태삼수측시적기본원리.제출료재개배조건하,채용정전격진법대해류형전용가속도계동태삼수측시적전로방안.통과분석획득료소빈특성곡선화계약향응곡선,득도료전감기적고유빈솔、조니비.시험결과표명,채용정전격진법득도적결과여전감기설계치비교접근.가이인위,개발적동태삼수측시계통시쾌속차유효적.
