天津师范大学学报（自然科学版）
天津師範大學學報（自然科學版）
천진사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TIANJIN NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2011年
2期
38-41
,共4页
张琳琳%黄美东%李鹏%王丽格%佟莉娜
張琳琳%黃美東%李鵬%王麗格%佟莉娜
장림림%황미동%리붕%왕려격%동리나
AlN薄膜%基底负偏压%反应磁控溅射法
AlN薄膜%基底負偏壓%反應磁控濺射法
AlN박막%기저부편압%반응자공천사법
利用反应磁控溅射制备AlN薄膜,研究了基底负偏压对薄膜结构及其性能的影响.XRD和SEM结果表明:用此方法获得的AlN薄膜呈晶态,负偏压对AIN择优取向产生一定的影响,随着偏压的增大,薄膜表面晶粒尺寸有长大趋势.根据透射谱测试和包络线计算结果可知,薄膜在可见光和红外区域透射率高,随着偏压的增大,薄膜的折射率也随之增大.
利用反應磁控濺射製備AlN薄膜,研究瞭基底負偏壓對薄膜結構及其性能的影響.XRD和SEM結果錶明:用此方法穫得的AlN薄膜呈晶態,負偏壓對AIN擇優取嚮產生一定的影響,隨著偏壓的增大,薄膜錶麵晶粒呎吋有長大趨勢.根據透射譜測試和包絡線計算結果可知,薄膜在可見光和紅外區域透射率高,隨著偏壓的增大,薄膜的摺射率也隨之增大.
이용반응자공천사제비AlN박막,연구료기저부편압대박막결구급기성능적영향.XRD화SEM결과표명:용차방법획득적AlN박막정정태,부편압대AIN택우취향산생일정적영향,수착편압적증대,박막표면정립척촌유장대추세.근거투사보측시화포락선계산결과가지,박막재가견광화홍외구역투사솔고,수착편압적증대,박막적절사솔야수지증대.
