电子器件
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전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2011年
5期
507-510
,共4页
太赫兹(THz)天线%角锥喇叭天线%微电子机械系统%氢氧化钾刻蚀
太赫玆(THz)天線%角錐喇叭天線%微電子機械繫統%氫氧化鉀刻蝕
태혁자(THz)천선%각추나팔천선%미전자궤계계통%경양화갑각식
提出了一种太赫兹(THz)天线结构:基于MEMS 工工艺的THz角锥喇叭天线.采用电磁场仿真软件Ansoft HFSS 11对所设计的天线进行仿真,结果表明该天线在2.5 THz ～3.5 THz范围以内具有回波损耗优于-25 dB,增益大于15 dB的良好特性.天线可以通过MEMS工艺(硅基KOH刻蚀)制造,具有加工费用低的优点,适用于THz雷达,通信和成像系统等太赫兹系统.
提齣瞭一種太赫玆(THz)天線結構:基于MEMS 工工藝的THz角錐喇叭天線.採用電磁場倣真軟件Ansoft HFSS 11對所設計的天線進行倣真,結果錶明該天線在2.5 THz ～3.5 THz範圍以內具有迴波損耗優于-25 dB,增益大于15 dB的良好特性.天線可以通過MEMS工藝(硅基KOH刻蝕)製造,具有加工費用低的優點,適用于THz雷達,通信和成像繫統等太赫玆繫統.
제출료일충태혁자(THz)천선결구:기우MEMS 공공예적THz각추나팔천선.채용전자장방진연건Ansoft HFSS 11대소설계적천선진행방진,결과표명해천선재2.5 THz ～3.5 THz범위이내구유회파손모우우-25 dB,증익대우15 dB적량호특성.천선가이통과MEMS공예(규기KOH각식)제조,구유가공비용저적우점,괄용우THz뢰체,통신화성상계통등태혁자계통.
