真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2012年
2期
95-103
,共9页
李建昌%简晓慧%孙越%韩宇%巴德纯
李建昌%簡曉慧%孫越%韓宇%巴德純
리건창%간효혜%손월%한우%파덕순
聚合物薄膜%真空喷射%雾化%分子电子学
聚閤物薄膜%真空噴射%霧化%分子電子學
취합물박막%진공분사%무화%분자전자학
高分子功能薄膜因质量轻、柔韧性好及易于加工等特点而在新型微纳光电器件上有很好的潜在应用前景.由于存在高温热致烧蚀或分解,常规的蒸发镀膜和溅射镀膜等方法无法用来制备高分子聚合物薄膜,而一般的溶液旋涂和滴涂技术,又存在薄膜易污染、孔洞多及溶剂残留等问题.近年来出现了在真空下通过溶液喷射制备聚合物薄膜的方法,该方法是将有机聚合物溶液在高压下经喷嘴直接喷射到真空室中形成细小雾滴并沉积到基片上形成薄膜.真空环境和加热可使溶剂快速蒸发,进而能够避免大量空气和溶剂在薄膜中的残留,具有操作简单且能制备多层或梯度结构复合功能薄膜的特点.本文对相关研究进行了综述,发现该方法尚存在成膜厚度不易监测,成膜影响因素缺乏系统的理论分析等问题,亟待进一步研究解决.
高分子功能薄膜因質量輕、柔韌性好及易于加工等特點而在新型微納光電器件上有很好的潛在應用前景.由于存在高溫熱緻燒蝕或分解,常規的蒸髮鍍膜和濺射鍍膜等方法無法用來製備高分子聚閤物薄膜,而一般的溶液鏇塗和滴塗技術,又存在薄膜易汙染、孔洞多及溶劑殘留等問題.近年來齣現瞭在真空下通過溶液噴射製備聚閤物薄膜的方法,該方法是將有機聚閤物溶液在高壓下經噴嘴直接噴射到真空室中形成細小霧滴併沉積到基片上形成薄膜.真空環境和加熱可使溶劑快速蒸髮,進而能夠避免大量空氣和溶劑在薄膜中的殘留,具有操作簡單且能製備多層或梯度結構複閤功能薄膜的特點.本文對相關研究進行瞭綜述,髮現該方法尚存在成膜厚度不易鑑測,成膜影響因素缺乏繫統的理論分析等問題,亟待進一步研究解決.
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