梯度α-Ta(N)/TaN双层阻挡层的制备及性能表征
제도α-Ta(N)/TaN쌍층조당층적제비급성능표정
Preparation and Properties Characterization of Gradient α-Ta(N)/TaN Bi-layer Diffusion Barrier
  • 万方数据
    稀有金属材料与工程 희유금속재료여공정
    RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
    2012年 10期 1855-1858 ,共4页

    刘春海%罗宏%金永中%宋忠孝%陈顺礼%汪渊%安竹%刘明

    류춘해%라굉%금영중%송충효%진순례%왕연%안죽%류명

    扩散阻挡层%电阻率%热稳定性%微结构 擴散阻擋層%電阻率%熱穩定性%微結構
    확산조당층%전조솔%열은정성%미결구
    提出了一种梯度氮化法制备出低阻、高稳定性的a-Ta(N)/TaN双层Cu扩散阻挡层.该方法有效地避免了异质元素的引入和高N含量导致的高电阻率.用四点探针(FPP)、X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)进行薄膜电性能和结构的表征.分析结果表明,梯度氮化工艺能调控金属Ta膜的相结构和金属Ta中的N原子浓度,从而获得低阻a-Ta(N)/TaN双层Cu扩散阻挡层结构.600℃高温老化退火的实验结果进一步证明此结构具有高的热稳定性.
    제출료일충제도담화법제비출저조、고은정성적a-Ta(N)/TaN쌍층Cu확산조당층.해방법유효지피면료이질원소적인입화고N함량도치적고전조솔.용사점탐침(FPP)、X사선연사(XRD)、고분변투사전자현미경(HRTEM)진행박막전성능화결구적표정.분석결과표명,제도담화공예능조공금속Ta막적상결구화금속Ta중적N원자농도,종이획득저조a-Ta(N)/TaN쌍층Cu확산조당층결구.600℃고온노화퇴화적실험결과진일보증명차결구구유고적열은정성.
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